潜水式换能器

适用于半导体、晶圆、MEMS/LIGA、太阳能/PV等清洗应用

兆声波单路/双路喷嘴

适用于半导体、晶圆、MEMS/LIGA、太阳能/PV等清洗应用

兆声波发生器MLM系列

低功率模块,紧凑化设计

兆声波发生器MGH系列

大功率模块,紧凑化设计

兆声波雾化器

适用于精确液体喷雾的应用

面对面声波转换器

单步清洗基板和半导体晶圆,最大尺寸为300 mm

淋浴喷头

带淋浴喷头的SONOSYS®

兆声波系统/频率1 MHz

换能器板

定制方案,用于不锈钢或塑料工艺罐中

兆声波水槽

大规模生产的特殊解决方案